无尘车间
或无尘室
的防护准则
此标准适用于所有本篇所定义之无尘室
及洁净区之半导体厂。
洁净区(Clean Zone)
定义为区间内之空气中之灰尘粒子浓度控制在一定的范围内。
无尘室
(Clean Room)
定义为房间内之空气中之灰尘粒子浓度控制在一定的范围内。
压缩气体(Compressed Gas)
于容器中之任何气体或混合气体其在70OF(21.1℃)时,绝对压力大于40psi(275.8Kpa);或在
70 OF时绝对压力小于40psi,但在130OF(54.4℃)时其压力大于104psi;或易燃性气体在100 OF
(37.8℃)时,其蒸气压大于40psi称为压缩气体。
目的
本标准旨在提供无尘室
避免火灾及相关危害合理的安全防护,而这些防护措施可避免或减少人员及财产之损害。
此准则适用于东莞无尘车间
.以上几个方面列出做为参考.